微型真空探針臺是一款專門用于材料電學表征和測量的微型桌面型電學測量臺，主要用于介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學表征和測量，還可以在真空、氣氛環境下對材料進行電學測量評估，是實驗室測量薄膜材料電學材料bibei工具，廣泛用于高校、科研、航天航空院所等領域。

功能特點

1、無人機外觀設計開發，讓低溫探針臺小巧精密；

2、XYZ三維移動平臺的開發，位移最小分辨率10um以下；

3、電聲制冷機制冷加熱一體化平臺應用開發；

4、液氮制冷加熱一體化平臺應用開發；

5、利用機械彈性設計，低溫環境下也有彈性，避免在探針壓薄膜樣品是損壞薄膜；

6、實現-160℃~450℃的制冷和加熱測量環境，控溫精度達到±0.5℃；

7、采用1000X放大鏡顯微鏡設計，有利于實時觀察樣品的測量狀態；

8、廣泛用于復雜、高速器件的精密電器測量，可靠性高；

9、高低溫平臺、測量夾具、測量軟件等集成于一體，讓操作變得簡單；

10、可以通過USB傳輸數據，數據格式為Excel格式。

應用：晶圓、芯片、LED測試、場晶體管、IGBT、分立器件等測試類型：IV/CV測試、RF測試、光電測試等搭配儀器：吉時利2400系列、4200系列、安捷倫B2900系列、1500系列等特點：超高真空環境、避免氧化、結霜，77K-675K溫度測試范圍，外置探針臂操作穩定、精準，可兼容不同類型顯微鏡滿足不同觀察要求、可滿足光譜測試、液氮開循環制冷，降低研發成本，模塊化設計、后期可無縫升級配置。

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